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常见故障现象及处理方法系列一:质谱无法正常开机

更新时间:2023-03-24      点击次数:3960

常见故障现象及处理方法系列一:质谱无法正常开机

质谱长期未使用、异常关机后可能会出现无法正常开机情况,下面我们介绍一些质谱无法正常开机后的处理方法。

一、质谱开机步骤及易故障现象

1、检查气体压力是否正常(参考下图)。

img1 

若压力异常,调节相应阀门使之达到正常压力。

若出现无压力或调节阀门无效情况,请及时联系工程师检修氮气发生器或检修气路。

2、检查机械泵油量,如需要,请及时更换泵油(请参考:机械泵维护指南。(超链接)

),打开机械泵。

若机械泵无法开机或出现异响,请及时联系工程师检修。

3、约30min后打开质谱主机电源,质谱指示灯点亮,并在常亮之后开始闪烁。

若指示灯无法点亮,检查电源线是否松动。若无松动,请及时联系工程师检修质谱。

4、进入Analyst软件,激活质谱并打开质谱状态图标,查看仪器状态。

4.1以API 4000为例。

img2 

(1)、观察Backing Pump Status,Enabled表示机械泵正常运转。

若出现Disabled,请及时联系工程师检修机械泵。

(2)、观察Analyzer Turbo Pump,由初始Accelerating约几分钟后变为 Normal。

若一直处于Accelerating或者OFF,请及时联系工程师检修质谱。

(3)、观察Interface Turbo Pump,由初始Accelerating约几分钟后变为 Normal。

若一直处于Accelerating或者OFF,请及时联系工程师检修质谱。

(4)、观察Vacuum Gauge,由初始OFF,在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均达到Normal后约两分钟后显示真空度数。

若一直处于OFF,请及时联系工程师检修质谱。

注:质谱状态及其含义,请参考迈斯培训系列五:质谱报错怎么办?软件死机了怎么办?(超链接)

 

(5)抽真空过夜,观察Vacuum Gauge,达到要求真空度,质谱图标变为黄色,开机正常。

若无法达到要求真空度或质谱图标变红,请及时联系工程师检修质谱。

4.2 以Triple Quad 5500为例。

img3 

(1)、观察Backing Pump Status,Enabled表示机械泵正常运转。

若出现Disabled,请及时联系工程师检修机械泵。

(2)、观察Turbo Pump,由初始Accelerating约几分钟后变为 Normal。

若一直处于Accelerating或者OFF,请及时联系工程师检修质谱。

(3)、观察Vacuum Gauge,由初始OFF状,在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均达到Normal后约两分钟后显示真空度数。

若一直处于OFF,请及时联系工程师检修质谱。

(4)抽真空过夜,观察Vacuum Gauge,达到要求真空度,质谱图标变为黄色,开机正常。

若无法达到要求真空度或质谱图标变红,请及时联系工程师检修质谱。

注:待机状态(CAD=0)真空范围参考

质谱型号

2000

系列

3000

系列

3200

系列

4000

系列

4500

系列

5000

系列

5500

系列

真空范围(10e-5 torr)

<2.0

 1.1

0.4~1.3

≤1.3

0.4~1.1

0.3~0.8

0.4~1.1

 

二、质谱异常关机故障排查

质谱在运行过程中突然关机。

1、检查气体压力是否正常。若压力异常,调节相应阀门使之达到正常压力。

若出现无压力或调节阀门无效情况,请及时联系工程师检修氮气发生器或检修气路。

2、检查机械泵是否正常运转。

若机械泵无法运转,请及时联系工程师检修机械泵。

3、触摸分子泵外壳温度是否正常。

若分子泵温度异常高,请及时联系工程师检修质谱。

4、尝试开机,观察分子泵运转时声音是否正常。

若分子泵运转时有异常噪音,请及时联系工程师检修质谱。

5、若无法正常开机,请查看event log并联系工程师检修质谱。

请参考迈斯翔禾培训系列二:如何查看和保存 Event Log(超链接)

 

 

 

 

 

 

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